半導體(ti)封(feng)裝(zhuang)材(cai)料(liao)4英(ying)寸(cun)真(zhen)空(kong)探針臺帶(dai)顯(xian)微鏡(jing)

半導體(ti)封(feng)裝(zhuang)材(cai)料(liao)4英(ying)寸(cun)真(zhen)空(kong)探針臺帶(dai)顯(xian)微鏡(jing)

半導體(ti)封(feng)裝(zhuang)材(cai)料(liao)4英(ying)寸(cun)真(zhen)空(kong)探針臺帶(dai)顯(xian)微鏡(jing)產品參(can)數：

腔體(ti)

型號(hao)：CGO-4

樣(yang)品臺尺(chi)寸(cun)：4英(ying)寸(cun)

樣(yang)品固定(ding)：樣(yang)品固定(ding)

觀察窗口：4英(ying)寸(cun)

真(zhen)空(kong)度：10-6 torr

探(tan)針臂接口：最多6個(ge)探(tan)針臂接口

其(qi)他接口：電信接口、真(zhen)空(kong)接口、光(guang)纖接口、冷(leng)源(yuan)接口

制冷(leng)方(fang)式(shi)：制冷(leng)機(ji)

控(kong)制方式(shi)：閉(bi)循(xun)環自(zi)動控(kong)制

溫度範(fan)圍：4.5K ~ 450K

溫度分(fen)辨率(lv)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wen)定(ding)性(xing)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯(xian)微鏡(jing)

X-Y-Z 移(yi)動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真(zhen)空(kong)波(bo)紋(wen)管(guan)結構

移(yi)動精度(du)：10μm / 1μm

光(guang)源(yuan)：外置LED環形(xing)光(guang)源(yuan) / 同(tong)軸(zhou)光(guang)源(yuan)

CCD：200萬(wan)像(xiang)素 / 500萬(wan)像(xiang)素 / 1200萬(wan)像(xiang)素

探(tan)針座

X-Y-Z 移(yi)動行程：X-Y-Z 移(yi)動行程

結構：外置探針臂，真(zhen)空(kong)波(bo)紋(wen)管(guan)結構

移(yi)動精度(du)：10μm / 1μm

探(tan)針夾具(ju)

線(xian)纜(lan)：同軸(zhou)線 / 三(san)軸(zhou)線 / 射(she)頻線(xian)

漏電精度(du)：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針：彈簧(huang)固定(ding) / 螺(luo)絲(si)固定(ding)

接頭類(lei)型：BNC / 三(san)軸(zhou) / 香(xiang)蕉頭 / 鱷(e)魚(yu)夾 / 接線端子/ 射(she)頻接口

探(tan)針

射(she)頻支(zhi)持(chi)：DC-67GHZ

針尖(jian)直(zhi)徑(jing)：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cai)質(zhi)：鎢(wu)鋼(gang) / 鈹銅

真(zhen)空(kong)組件(jian)：分(fen)子泵(beng)組 / 機(ji)械(xie)泵

冷(leng)源(yuan)組件(jian)：50L / 100L 液氮罐 / 液氦(hai)罐(guan) / 制冷(leng)機(ji)

外形(xing)重量(liang)：730mm×750mm×1265mm（長(chang)寬(kuan)高(gao)）      約100kg

防震桌參(can)數：

阻(zu)尼(ni)隔(ge)振(zhen)防震桌

隔(ge)振(zhen)方(fang)式(shi):高(gao)級復合(he)材料(liao)隔(ge)振(zhen)

材(cai)質(zhi):不(bu)銹(xiu)鋼 / 碳(tan)鋼

平(ping)面(mian)度:0.05mm / m2

粗(cu)糙(cao)度(du):＜0.8μm

孔(kong)距:25×25mm

孔(kong)徑(jing):M6

平(ping)臺尺(chi)寸(cun)（長(chang)寬(kuan)):可(ke)定(ding)制

平(ping)臺厚度：50 / 100 / 200mm

固有(you)頻率(lv):6Hz - 8Hz

支(zhi)撐(cheng)腿:阻(zu)尼(ni)支撐(cheng)腿(tui)

支(zhi)撐(cheng)腿數量(liang):4個(ge) / 6個(ge)

支(zhi)撐(cheng)腿高(gao)度:800mm±10mm

其(qi)他:內(nei)芯采用蜂(feng)窩(wo)支撐(cheng)、表面(mian)密迪(di)紋(wen)處理、支撐腳(jiao)可(ke)選(xuan)腳(jiao)輪(lun)、特殊尺(chi)寸(cun)可(ke)定(ding)制