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簡(jian)要描述：半導(dao)體(ti)材料真(zhen)空(kong)探(tan)針(zhen)臺(tai)電(dian)學(xue)性能(neng)測(ce)試系(xi)統(tong)是(shi)壹(yi)種(zhong)能(neng)夠在高(gao)真空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)進(jin)行精確(que)測(ce)量(liang)和(he)實(shi)驗的(de)設(she)備(bei)。其基本(ben)原理是(shi)利用(yong)真空(kong)環(huan)境(jing)下(xia)的(de)物理現象(xiang)和(he)特(te)性(xing)，對樣品(pin)進(jin)行各種實(shi)驗和測(ce)量(liang)。在高(gao)真空(kong)環(huan)境(jing)中(zhong)，氣(qi)體分子很少(shao)，這有(you)助於減(jian)少(shao)空(kong)氣(qi)阻(zu)力、空(kong)氣(qi)振動(dong)和(he)其(qi)他(ta)幹(gan)擾因素，從(cong)而獲(huo)得較(jiao)為準確和(he)可靠的(de)實(shi)驗數據。
產品(pin)型(xing)號(hao)：CGO-2廠(chang)商(shang)性質：生(sheng)產(chan)廠(chang)家更新(xin)時(shi)間：2025-08-18訪 問(wen) 量(liang)：1336產品(pin)分類(lei)
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| 品牌(pai) | 華(hua)測(ce)儀(yi)器 | 應用領域(yu) | 化工(gong),能(neng)源(yuan),電(dian)子(zi)/電(dian)池,電(dian)氣(qi),綜(zong)合(he) |
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半(ban)導體材料真(zhen)空(kong)探(tan)針(zhen)臺(tai)電(dian)學(xue)性能(neng)測(ce)試系(xi)統(tong)
半(ban)導體材料真(zhen)空(kong)探(tan)針(zhen)臺(tai)電(dian)學(xue)性能(neng)測(ce)試系(xi)統(tong)產(chan)品參數：
腔體(ti)
型(xing)號(hao)：CGO-2
樣品(pin)臺(tai)尺(chi)寸：2英(ying)寸
樣品(pin)固(gu)定(ding)：樣品(pin)固(gu)定(ding)
觀(guan)察窗口：2英(ying)寸
真(zhen)空(kong)度：10-6 torr
探(tan)針(zhen)臂接口：最多(duo)6個探(tan)針(zhen)臂接口
其(qi)他接口：電(dian)信(xin)接口(kou)、真空(kong)接(jie)口、光(guang)纖(xian)接口(kou)、冷(leng)源(yuan)接(jie)口(kou)
制(zhi)冷方式(shi)：液(ye)氮 / 液(ye)氦
控(kong)制方式(shi)：開循(xun)環(huan)手動
溫(wen)度範圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
溫(wen)度分辨(bian)率(lv)：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定(ding)性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微(wei)鏡(jing)
X-Y-Z 移(yi)動(dong)行程：50mm×25mm×13mm
結(jie)構(gou)：外(wai)置探(tan)針(zhen)臂，真空(kong)波(bo)紋(wen)管結(jie)構(gou)
移(yi)動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm
光(guang)源(yuan)：外(wai)置LED環(huan)形(xing)光(guang)源(yuan) / 同(tong)軸光源(yuan)
CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素
探(tan)針(zhen)座(zuo)
X-Y-Z 移(yi)動(dong)行程：X-Y-Z 移(yi)動(dong)行程
結(jie)構(gou)：外(wai)置探(tan)針(zhen)臂，真空(kong)波(bo)紋(wen)管結(jie)構(gou)
移(yi)動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm
探(tan)針(zhen)夾具
線(xian)纜：同(tong)軸線(xian) / 三(san)軸線(xian) / 射(she)頻(pin)線(xian)
漏(lou)電(dian)精(jing)度：10pA / 100fA / 10fA
固(gu)定(ding)探(tan)針(zhen)：彈(dan)簧固定(ding) / 螺絲固定(ding)
接(jie)頭類(lei)型(xing)：BNC / 三(san)軸 / 香(xiang)蕉(jiao)頭 / 鱷(e)魚(yu)夾(jia) / 接(jie)線(xian)端(duan)子/ 射(she)頻(pin)接口(kou)
探(tan)針(zhen)
射(she)頻(pin)支持：DC-67GHZ
針(zhen)尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材(cai)質：鎢(wu)鋼 / 鈹銅(tong)
真(zhen)空(kong)組件：分子(zi)泵(beng)組 / 機械泵(beng)
冷(leng)源(yuan)組件：50L / 100L 液(ye)氮罐 / 液(ye)氦罐 / 制(zhi)冷(leng)機
外(wai)形(xing)重(zhong)量(liang)：730mm×750mm×1265mm（長(chang)寬高(gao)） 約100kg
防(fang)震(zhen)桌參數：
氣(qi)浮隔振防震(zhen)桌
隔(ge)振方式(shi):隔(ge)振方式(shi)
材(cai)質:不銹(xiu)鋼 / 碳(tan)鋼
平面(mian)度:0.05mm / m2
粗(cu)糙度:＜0.8μm
孔(kong)距:25×25mm
孔(kong)徑:M6
平臺(tai)尺(chi)寸（長(chang)寬):可定(ding)制
平臺(tai)厚(hou)度：50 / 100 / 200mm
固(gu)有頻(pin)率:.5Hz - 2Hz
支(zhi)撐(cheng)腿(tui):氣浮支撐(cheng)腿(tui)
支(zhi)撐(cheng)腿(tui)數量(liang):4個 / 6個
支(zhi)撐(cheng)腿(tui)高(gao)度:800mm±10mm
其(qi)他:內芯(xin)采(cai)用(yong)蜂窩(wo)支撐(cheng)、表(biao)面(mian)密迪(di)紋(wen)處理、支撐(cheng)腳(jiao)可(ke)選腳(jiao)輪(lun)、特(te)殊尺(chi)寸可(ke)定(ding)制
真(zhen)空(kong)探(tan)針(zhen)臺(tai) 外(wai)置探(tan)針(zhen)臂
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