功能(neng)材料電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)評估系統‌

功能(neng)材料電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)評估系統‌

    功能(neng)材料電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)評估系統‌是壹種用於(yu)評估材料在(zai)電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)（ECM）條件下(xia)的(de)性(xing)能(neng)的(de)設(she)備。該(gai)系統能(neng)夠(gou)模擬(ni)電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)的(de)環境(jing)條件，對(dui)樣(yang)品(pin)施加(jia)電壓(ya)並(bing)監(jian)測(ce)其(qi)電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)行為(wei)，從(cong)而(er)評估材料的(de)耐(nai)電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)性(xing)能(neng)和絕(jue)緣電阻。

隨著半導體器件小型化(hua)的(de)進(jin)展(zhan)，在(zai)過(guo)於(yu)苛(ke)刻(ke)的(de)條件下(xia)評估電遷(qian)移(yi)變(bian)得至關(guan)重(zhong)要(yao)。電遷(qian)移(yi)評估系統提供(gong)基於(yu)溫(wen)度(du)和電流應(ying)力(li)（影響(xiang)器械使(shi)用壽(shou)命的(de)兩個(ge)主要(yao)因素(su)）的(de)準確測(ce)量以及(ji)用於(yu)確(que)定(ding)判(pan)斷器械壽(shou)命所(suo)需(xu)參(can)數的(de)分析(xi)軟(ruan)件。電化(hua)學(xue)遷(qian)移(yi)評價(jia)系統旨在(zai)滿足(zu)廣泛(fan)的(de)評估需(xu)求，從前沿評估到生產管理(li)，提供(gong)增強的(de)可(ke)操作(zuo)性、優(you)異的(de)可(ke)靠(kao)性(xing)和簡(jian)化(hua)的(de)數據(ju)分析(xi)。

性能(neng)

240通道(dao)評價(jia)試驗(yan) 在(zai)單(dan)個(ge)櫥櫃中的(de)3個(ge)烤箱中

2個通(tong)道(dao) (DUT) = 1個插座

5個插座 = 1個 DUT 板

8個 DUT 板(ban) = 1個(ge)烤箱

3個烘(hong)箱 = 1個櫃(gui)

在(zai)單(dan)個(ge)烤箱中最(zui)多(duo)可(ke)測(ce)試80個(ge)通(tong)道或DUT，使每個(ge)機(ji)櫃有(you)240個(ge)通(tong)道。然(ran)而，主(zhu)機(ji) PC 可(ke)以控制(zhi)多(duo)達(da)1200個通(tong)道(dao)或5個滿載機(ji)櫃。

高精(jing)度(du)溫(wen)度(du) 控制(zhi)在(zai)350°C以下(xia)

該烘(hong)箱能(neng)夠(gou)檢測(ce)高(gao)達(da)350℃的(de)溫(wen)度(du)，並(bing)在(zai)300℃下(xia)提供(gong)±3.5℃的(de)高(gao)度(du)準確溫(wen)度(du)分布。每個(ge)烘箱均配有(you)獨(du)立的(de)控制(zhi)器，用於(yu)單(dan)獨(du)的(de)溫(wen)度(du)設(she)置。

當前應力(li)應用至200 mA

能(neng)夠(gou)施加(jia)0.1 mA至 200 mA 之(zhi)間(jian)的(de)應(ying)力(li)電流。

高度(du)可(ke)靠(kao)的(de)雙(shuang)重(zhong)接(jie)觸(chu) 板(ban)結構

DUT 板和插座連接(jie)具(ju)有(you)雙(shuang)觸(chu)點(dian)結構，以實(shi)現更(geng)強的(de)固(gu)定。該結構設(she)計(ji)確保(bao)在(zai)高溫(wen)下(xia)進(jin)行長(chang)期(qi)評價(jia)的(de)可(ke)靠(kao)性(xing)更(geng)高(gao)。

*350°C的(de)標(biao)準模型(xing)插座（300 mil和600 mil）。也(ye)可(ke)提供(gong)250℃型號(hao)（僅600 mil）（可(ke)選）。

連接(jie)板(ban)

引腳分配亂(luan)序(xu)功能(neng)使(shi)得即使(shi)使用具(ju)有(you)不(bu)同引(yin)腳布局的(de) DUT 也(ye)可(ke)以評估 ESPEC DUT 板。

四種試驗(yan)模(mo)式

能(neng)夠(gou)在(zai)強制(zhi)降(jiang)解(jie)溫(wen)度(du)和電流下(xia)通過(guo)測(ce)量電阻進(jin)行四(si)種不(bu)同的(de)檢(jian)測(ce)：電遷(qian)移(yi)、強制(zhi)降(jiang)解(jie)遷(qian)移(yi)、溫(wen)度(du)特(te)性(xing) (TCR) 和擠壓(ya)。