絕緣(yuan)材(cai)料(liao)評(ping)估(gu)電(dian)化(hua)學遷移評(ping)價系統(tong)‌

絕緣(yuan)材(cai)料(liao)評(ping)估(gu)電(dian)化(hua)學遷移評(ping)價系統(tong)‌

  絕緣(yuan)材(cai)料(liao)評(ping)估(gu)電(dian)化(hua)學遷移評(ping)價系統(tong)‌是(shi)壹種(zhong)用(yong)於評(ping)估材(cai)料(liao)在(zai)電(dian)化(hua)學遷移（ECM）條(tiao)件下(xia)的(de)性(xing)能的設備。該(gai)系統(tong)能夠模(mo)擬電化(hua)學遷移的(de)環(huan)境(jing)條(tiao)件，對(dui)樣品(pin)施(shi)加(jia)電壓並監測(ce)其(qi)電化(hua)學遷移行(xing)為，從(cong)而評(ping)估材(cai)料(liao)的(de)耐(nai)電(dian)化(hua)學遷移性(xing)能和絕緣(yuan)電(dian)阻(zu)。

隨(sui)著(zhe)半導體(ti)器件(jian)小(xiao)型(xing)化(hua)的進展(zhan)，在(zai)過於苛刻的條(tiao)件下(xia)評(ping)估(gu)電遷(qian)移(yi)變得至關重(zhong)要。電遷移評(ping)估(gu)系統(tong)提(ti)供基於溫(wen)度和電(dian)流(liu)應(ying)力（影響器械(xie)使用(yong)壽命(ming)的(de)兩(liang)個主(zhu)要因素(su)）的(de)準確測量(liang)以及用(yong)於確定判(pan)斷器(qi)械壽命(ming)所(suo)需(xu)參數的(de)分(fen)析(xi)軟件。電化(hua)學遷移評(ping)價系統(tong)旨在(zai)滿(man)足(zu)廣泛(fan)的評(ping)估(gu)需(xu)求，從(cong)前沿(yan)評估(gu)到(dao)生(sheng)產管(guan)理(li)，提供(gong)增強的可(ke)操(cao)作(zuo)性(xing)、優異的(de)可(ke)靠(kao)性(xing)和簡化(hua)的數(shu)據(ju)分(fen)析(xi)。

性能

240通(tong)道評價試(shi)驗(yan) 在單個櫥(chu)櫃中的3個烤(kao)箱中

2個通(tong)道 (DUT) = 1個插(cha)座

5個插(cha)座 = 1個 DUT 板(ban)

8個 DUT 板(ban) = 1個烤(kao)箱

3個烘(hong)箱 = 1個櫃(gui)

在單(dan)個烤(kao)箱中最(zui)多可(ke)測試(shi)80個通(tong)道或DUT，使每(mei)個機(ji)櫃有240個通(tong)道。然而，主(zhu)機 PC 可(ke)以控制多達(da)1200個通(tong)道或5個滿(man)載機(ji)櫃。

高精度溫度 控制在(zai)350°C以下(xia)

該烘(hong)箱能夠檢(jian)測(ce)高達(da)350℃的溫(wen)度，並在300℃下(xia)提(ti)供±3.5℃的高度準確溫度分(fen)布。每(mei)個烘(hong)箱均配(pei)有獨(du)立的(de)控制器(qi)，用(yong)於單(dan)獨的溫度設置(zhi)。

當(dang)前應(ying)力應(ying)用(yong)至200 mA

能夠施(shi)加(jia)0.1 mA至 200 mA 之(zhi)間的應(ying)力電(dian)流(liu)。

高度可(ke)靠(kao)的(de)雙重(zhong)接觸(chu) 板(ban)結(jie)構(gou)

DUT 板(ban)和插座連(lian)接具(ju)有雙觸點(dian)結(jie)構(gou)，以實(shi)現(xian)更(geng)強的(de)固定(ding)。該(gai)結(jie)構(gou)設計(ji)確保(bao)在(zai)高溫下(xia)進行長(chang)期(qi)評(ping)價的可(ke)靠(kao)性(xing)更(geng)高。

*350°C的標(biao)準模型(xing)插座（300 mil和(he)600 mil）。也(ye)可(ke)提供(gong)250℃型(xing)號(hao)（僅(jin)600 mil）（可(ke)選）。

連接板(ban)

引腳(jiao)分(fen)配(pei)亂(luan)序功能使得(de)即使使(shi)用(yong)具有不(bu)同引(yin)腳(jiao)布局的 DUT 也可(ke)以評估(gu) ESPEC DUT 板(ban)。

四(si)種(zhong)試(shi)驗(yan)模式(shi)

能夠在(zai)強制降(jiang)解溫度和電(dian)流(liu)下(xia)通(tong)過測量電阻(zu)進行四(si)種(zhong)不(bu)同的檢(jian)測(ce)：電遷(qian)移、強(qiang)制降(jiang)解遷移、溫(wen)度特性 (TCR) 和(he)擠(ji)壓。