華(hua)測(ce)半(ban)導(dao)體封裝材料真空探(tan)針(zhen)臺

華(hua)測(ce)半(ban)導(dao)體封裝材料真空探(tan)針(zhen)臺

真空探(tan)針(zhen)臺產(chan)品參數：

腔(qiang)體(ti)

樣品臺尺(chi)寸(cun)：2英(ying)寸(cun)

樣品固定(ding)：樣品固定(ding)

觀(guan)察(cha)窗口：2英(ying)寸(cun)

真空度(du)：10-6 torr

探(tan)針(zhen)臂接(jie)口：最(zui)多6個探(tan)針(zhen)臂接(jie)口

其(qi)他接(jie)口：電信接口、真空接口、光(guang)纖(xian)接(jie)口、冷源(yuan)接口

制冷方(fang)式(shi)：液(ye)氮(dan) / 液(ye)氦

控(kong)制方(fang)式(shi)：開(kai)循環手動(dong)

溫(wen)度(du)範(fan)圍(wei)：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫(wen)度(du)分辨(bian)率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定(ding)性(xing)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微(wei)鏡(jing)

X-Y-Z 移(yi)動行程(cheng)：50mm×25mm×13mm

結(jie)構：外置探(tan)針(zhen)臂，真空波紋(wen)管(guan)結(jie)構

移(yi)動精度(du)：10μm / 1μm

光(guang)源(yuan)：外置(zhi)LED環形(xing)光(guang)源(yuan) / 同(tong)軸(zhou)光(guang)源(yuan)

CCD：200萬(wan)像素(su) / 500萬(wan)像(xiang)素(su) / 1200萬(wan)像(xiang)素(su)

探(tan)針(zhen)座

X-Y-Z 移(yi)動行程(cheng)：X-Y-Z 移(yi)動行程(cheng)

結構：外置探(tan)針(zhen)臂，真空波紋(wen)管(guan)結(jie)構

移(yi)動精度(du)：10μm / 1μm

探(tan)針(zhen)夾具(ju)

線纜(lan)：同軸(zhou)線 / 三(san)軸(zhou)線 / 射頻線

漏(lou)電精度(du)：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針(zhen)：彈簧(huang)固定(ding) / 螺絲(si)固定(ding)

接頭類(lei)型：BNC / 三(san)軸(zhou) / 香蕉頭 / 鱷(e)魚(yu)夾(jia) / 接(jie)線端子(zi)/ 射(she)頻接(jie)口

探(tan)針(zhen)

射頻支持(chi)：DC-67GHZ

針(zhen)尖直(zhi)徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cai)質(zhi)：鎢(wu)鋼 / 鈹銅

真空組件：分子泵組 / 機(ji)械泵(beng)

冷源(yuan)組件：50L / 100L 液(ye)氮(dan)罐 / 液(ye)氦罐 / 制冷機(ji)

外形(xing)重量(liang)：730mm×750mm×1265mm（長(chang)寬(kuan)高）      約100kg

防震桌參(can)數：

氣(qi)浮隔(ge)振防(fang)震桌

隔(ge)振方(fang)式(shi):隔(ge)振方(fang)式(shi)

材質(zhi):不(bu)銹(xiu)鋼 / 碳鋼

平(ping)面度(du):0.05mm / m2

粗糙(cao)度(du):＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔(kong)徑:M6

平臺尺(chi)寸(cun)（長寬(kuan)):可定(ding)制

平(ping)臺厚(hou)度(du)：50 / 100 / 200mm

固有(you)頻率(lv):.5Hz - 2Hz

支撐腿(tui):氣(qi)浮支撐腿(tui)

支撐腿(tui)數量(liang):4個 / 6個(ge)

支撐腿(tui)高度(du):800mm±10mm

其(qi)他:內(nei)芯(xin)采(cai)用蜂窩支撐、表(biao)面密(mi)迪(di)紋(wen)處(chu)理(li)、支撐腳(jiao)可選腳(jiao)輪、特殊尺(chi)寸(cun)可定(ding)制

產(chan)品參數：

腔(qiang)體(ti)

樣品臺尺(chi)寸(cun)：4英(ying)寸(cun)

樣品固定(ding)：樣品固定(ding)

觀(guan)察(cha)窗口：4英(ying)寸(cun)

真空度(du)：10-6 torr

探(tan)針(zhen)臂接(jie)口：最(zui)多6個探(tan)針(zhen)臂接(jie)口

其(qi)他接(jie)口：電信接口、真空接口、光(guang)纖(xian)接(jie)口、冷源(yuan)接口

制冷方(fang)式(shi)：制冷機(ji)

控(kong)制方(fang)式(shi)：閉循環自(zi)動(dong)控(kong)制

溫(wen)度(du)範(fan)圍(wei)：4.5K ~ 450K

溫(wen)度(du)分辨(bian)率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定(ding)性(xing)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微(wei)鏡(jing)

X-Y-Z 移(yi)動行程(cheng)：50mm×25mm×13mm

結(jie)構：外置探(tan)針(zhen)臂，真空波紋(wen)管(guan)結(jie)構

移(yi)動精度(du)：10μm / 1μm

光(guang)源(yuan)：外置(zhi)LED環形(xing)光(guang)源(yuan) / 同(tong)軸(zhou)光(guang)源(yuan)

CCD：200萬(wan)像素(su) / 500萬(wan)像(xiang)素(su) / 1200萬(wan)像(xiang)素(su)

探(tan)針(zhen)座

X-Y-Z 移(yi)動行程(cheng)：X-Y-Z 移(yi)動行程(cheng)

結構：外置探(tan)針(zhen)臂，真空波紋(wen)管(guan)結(jie)構

移(yi)動精度(du)：10μm / 1μm

探(tan)針(zhen)夾具(ju)

線纜(lan)：同軸(zhou)線 / 三(san)軸(zhou)線 / 射頻線

漏(lou)電精度(du)：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針(zhen)：彈簧(huang)固定(ding) / 螺絲(si)固定(ding)

接頭類(lei)型：BNC / 三(san)軸(zhou) / 香蕉頭 / 鱷(e)魚(yu)夾(jia) / 接(jie)線端子(zi)/ 射(she)頻接(jie)口

探(tan)針(zhen)

射頻支持(chi)：DC-67GHZ

針(zhen)尖直(zhi)徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cai)質(zhi)：鎢(wu)鋼 / 鈹銅

真空組件：分子泵組 / 機(ji)械泵(beng)

冷源(yuan)組件：50L / 100L 液(ye)氮(dan)罐 / 液(ye)氦罐 / 制冷機(ji)

外形(xing)重量(liang)：730mm×750mm×1265mm（長(chang)寬(kuan)高）      約100kg

防震桌參(can)數：

阻(zu)尼(ni)隔(ge)振防(fang)震桌

隔(ge)振方(fang)式(shi):高級(ji)復合(he)材料隔(ge)振

材質(zhi):不(bu)銹(xiu)鋼 / 碳鋼

平(ping)面度(du):0.05mm / m2

粗糙(cao)度(du):＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔(kong)徑:M6

平臺尺(chi)寸(cun)（長寬(kuan)):可定(ding)制

平(ping)臺厚(hou)度(du)：50 / 100 / 200mm

固有(you)頻率(lv):6Hz - 8Hz

支撐腿(tui):阻(zu)尼(ni)支撐腿(tui)

支撐腿(tui)數量(liang):4個 / 6個(ge)

支撐腿(tui)高度(du):800mm±10mm

其(qi)他:內(nei)芯(xin)采(cai)用蜂窩支撐、表(biao)面密(mi)迪(di)紋(wen)處(chu)理(li)、支撐腳(jiao)可選腳(jiao)輪、特殊尺(chi)寸(cun)可定(ding)制