半導(dao)體封(feng)裝(zhuang)材(cai)料真空探針臺(tai)

半導(dao)體封(feng)裝(zhuang)材(cai)料真空探針臺(tai)

半導(dao)體封(feng)裝(zhuang)材(cai)料真空探針臺(tai)產(chan)品參(can)數(shu)：

腔體

樣(yang)品臺(tai)尺寸(cun)：2英寸(cun)

樣(yang)品固定(ding)：樣(yang)品固定(ding)

觀(guan)察窗口：2英寸(cun)

真(zhen)空度：10-6 torr

探(tan)針臂接(jie)口：最(zui)多(duo)6個(ge)探針(zhen)臂(bi)接(jie)口

其他(ta)接(jie)口：電信(xin)接(jie)口、真(zhen)空(kong)接(jie)口、光纖接(jie)口、冷(leng)源(yuan)接(jie)口

制冷(leng)方(fang)式(shi)：液(ye)氮(dan) / 液(ye)氦

控制(zhi)方(fang)式(shi)：開(kai)循環(huan)手動(dong)

溫(wen)度(du)範(fan)圍(wei)：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫(wen)度分(fen)辨率(lv)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wen)定性(xing)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯(xian)微(wei)鏡

X-Y-Z 移(yi)動(dong)行(xing)程：50mm×25mm×13mm

結(jie)構(gou)：外置(zhi)探(tan)針臂，真空波(bo)紋(wen)管結(jie)構(gou)

移(yi)動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

光源(yuan)：外置(zhi)LED環(huan)形(xing)光源(yuan) / 同(tong)軸光源(yuan)

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

探針(zhen)座

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程

結(jie)構(gou)：外置(zhi)探(tan)針臂，真空波(bo)紋(wen)管結(jie)構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

探(tan)針夾(jia)具(ju)

線(xian)纜(lan)：同(tong)軸線(xian) / 三(san)軸線(xian) / 射(she)頻線(xian)

漏電精(jing)度(du)：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針：彈(dan)簧(huang)固定(ding) / 螺(luo)絲固定(ding)

接(jie)頭類型(xing)：BNC / 三軸 / 香蕉(jiao)頭 / 鱷魚(yu)夾(jia) / 接(jie)線(xian)端(duan)子/ 射(she)頻接(jie)口

探針

射(she)頻支(zhi)持(chi)：DC-67GHZ

針尖(jian)直(zhi)徑(jing)：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cai)質(zhi)：鎢(wu)鋼(gang) / 鈹(pi)銅(tong)

真空組件：分(fen)子(zi)泵組 / 機械(xie)泵(beng)

冷(leng)源(yuan)組(zu)件：50L / 100L 液(ye)氮(dan)罐(guan) / 液(ye)氦罐(guan) / 制冷(leng)機

外形(xing)重量：730mm×750mm×1265mm（長寬(kuan)高(gao)）      約100kg

防震(zhen)桌(zhuo)參(can)數(shu)：

氣(qi)浮隔振防震(zhen)桌(zhuo)

隔振方式(shi):隔振方式(shi)

材(cai)質(zhi):不銹鋼(gang) / 碳鋼(gang)

平面(mian)度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距(ju):25×25mm

孔徑:M6

平臺(tai)尺寸(cun)（長寬(kuan)):可定(ding)制(zhi)

平臺(tai)厚(hou)度(du)：50 / 100 / 200mm

固有頻率(lv):.5Hz - 2Hz

支(zhi)撐(cheng)腿(tui):氣(qi)浮支(zhi)撐(cheng)腿(tui)

支(zhi)撐(cheng)腿(tui)數(shu)量:4個(ge) / 6個(ge)

支(zhi)撐(cheng)腿(tui)高(gao)度:800mm±10mm

其(qi)他:內(nei)芯采用蜂窩(wo)支(zhi)撐(cheng)、表(biao)面(mian)密迪紋(wen)處理、支(zhi)撐(cheng)腳(jiao)可選(xuan)腳(jiao)輪、特殊(shu)尺寸(cun)可定(ding)制(zhi)

產(chan)品參(can)數(shu)：

腔體

樣(yang)品臺(tai)尺寸(cun)：4英寸(cun)

樣(yang)品固定(ding)：樣(yang)品固定(ding)

觀(guan)察窗口：4英(ying)寸(cun)

真空(kong)度(du)：10-6 torr

探(tan)針(zhen)臂接(jie)口：最(zui)多(duo)6個(ge)探針(zhen)臂(bi)接(jie)口

其他(ta)接(jie)口：電信(xin)接(jie)口、真(zhen)空(kong)接(jie)口、光纖接(jie)口、冷(leng)源(yuan)接(jie)口

制冷(leng)方(fang)式(shi)：制冷(leng)機

控制(zhi)方(fang)式(shi)：閉(bi)循環(huan)自動(dong)控(kong)制

溫(wen)度(du)範(fan)圍(wei)：4.5K ~ 450K

溫(wen)度(du)分(fen)辨率(lv)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wen)定性(xing)：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯(xian)微(wei)鏡

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：50mm×25mm×13mm

結(jie)構(gou)：外置(zhi)探(tan)針臂，真空波(bo)紋(wen)管結(jie)構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

光源(yuan)：外置(zhi)LED環(huan)形(xing)光源(yuan) / 同(tong)軸光源(yuan)

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

探針(zhen)座

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程

結(jie)構(gou)：外置(zhi)探(tan)針臂，真空波(bo)紋(wen)管結(jie)構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

探(tan)針夾(jia)具(ju)

線(xian)纜(lan)：同(tong)軸線(xian) / 三(san)軸線(xian) / 射(she)頻線(xian)

漏(lou)電精(jing)度(du)：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針：彈(dan)簧(huang)固定(ding) / 螺(luo)絲固定(ding)

接(jie)頭類型(xing)：BNC / 三軸(zhou) / 香蕉(jiao)頭 / 鱷魚(yu)夾(jia) / 接(jie)線(xian)端(duan)子/ 射(she)頻接(jie)口

探針

射(she)頻支(zhi)持(chi)：DC-67GHZ

針尖(jian)直(zhi)徑(jing)：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材(cai)質(zhi)：鎢(wu)鋼(gang) / 鈹(pi)銅(tong)

真空組件：分(fen)子(zi)泵組 / 機械(xie)泵(beng)

冷(leng)源(yuan)組(zu)件：50L / 100L 液(ye)氮(dan)罐(guan) / 液(ye)氦罐(guan) / 制冷(leng)機

外形(xing)重量：730mm×750mm×1265mm（長寬(kuan)高(gao)）      約100kg

防震(zhen)桌(zhuo)參(can)數(shu)：

阻尼(ni)隔振防震(zhen)桌(zhuo)

隔振方式(shi):高級(ji)復(fu)合(he)材(cai)料隔振

材(cai)質(zhi):不銹(xiu)鋼(gang) / 碳鋼(gang)

平面(mian)度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距(ju):25×25mm

孔徑:M6

平臺(tai)尺寸(cun)（長寬(kuan)):可定(ding)制(zhi)

平臺(tai)厚(hou)度(du)：50 / 100 / 200mm

固有頻率(lv):6Hz - 8Hz

支(zhi)撐(cheng)腿(tui):阻(zu)尼(ni)支(zhi)撐(cheng)腿(tui)

支(zhi)撐(cheng)腿(tui)數(shu)量:4個(ge) / 6個(ge)

支(zhi)撐(cheng)腿(tui)高(gao)度:800mm±10mm

其(qi)他:內(nei)芯采用蜂窩(wo)支(zhi)撐(cheng)、表(biao)面(mian)密迪紋(wen)處理、支(zhi)撐(cheng)腳(jiao)可選(xuan)腳(jiao)輪、特殊(shu)尺寸(cun)可定(ding)制(zhi)