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當(dang)前(qian)位(wei)置(zhi)：首頁 > 產品(pin)中心(xin) > 功能(neng)材料(liao)測(ce)試儀(yi)器 > 簡易探(tan)針(zhen)臺(tai) > 華(hua)測(ce)半(ban)導(dao)體封裝材料(liao)高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)
簡(jian)要描述：華(hua)測(ce)半導(dao)體封(feng)裝(zhuang)材料(liao)高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)，溫(wen)度(du)範圍77K-675K(液氮(dan))；可應(ying)用於真空及(ji)常規(gui)環(huan)境(jing)；超高(gao)溫(wen)度(du)分(fen)辨率；特殊客(ke)制(zhi)低(di)溫(wen)系(xi)統(tong)；具有較好(hao)穩(wen)定性(xing)
產(chan)品(pin)型(xing)號：廠商性(xing)質：生(sheng)產(chan)廠家更(geng)新(xin)時間：2024-12-12訪(fang) 問 量(liang)：2361產(chan)品(pin)分(fen)類(lei)
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| 品(pin)牌 | 華測(ce)儀(yi)器 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應(ying)用領(ling)域 | 化(hua)工,能(neng)源,電(dian)子/電(dian)池(chi),電(dian)氣,綜合(he) |
Huace HT-11高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)
華(hua)測(ce)半(ban)導體封裝(zhuang)材料(liao)高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)
華(hua)測(ce)半(ban)導體封裝(zhuang)材料(liao)高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)特點/應(ying)用
◆ 2至(zhi)6英寸樣品(pin)臺(tai)
◆ 高(gao)真空腔體(ti)
◆ 防(fang)輻(fu)射屏(ping)設(she)計，樣品(pin)溫(wen)度(du)均(jun)勻(yun)性(xing)更好(hao)
◆ 77K-675K高(gao)低(di)溫(wen)環(huan)境(jing)
◆ 兼(jian)容IV/CV/RF測試
◆ 外(wai)置(zhi)多(duo)探(tan)針(zhen)臂(bi)，移(yi)動(dong)行程大
◆ 經濟實用，可無(wu)縫(feng)升(sheng)級(ji)
華(hua)測(ce)半(ban)導體封裝(zhuang)材料(liao)高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)極(ji)低(di)溫(wen)測(ce)試:
因(yin)為晶圓(yuan)在低(di)溫(wen)大(da)氣(qi)環(huan)境(jing)測(ce)試時(shi)，空氣中的水(shui)汽會(hui)凝(ning)結在晶(jing)圓上(shang)，會(hui)導致漏(lou)電(dian)過大(da)或(huo)者探(tan)針(zhen)無(wu)法接(jie)觸(chu)電(dian)極(ji)而使測試失(shi)敗。避(bi)免這些(xie)需(xu)要把(ba)真空腔內(nei)的(de)水(shui)汽在測(ce)試前(qian)用(yong)泵(beng)抽(chou)走，並且保持整(zheng)個(ge)測(ce)試過(guo)程泵的運(yun)轉(zhuan)。
高(gao)溫(wen)無(wu)氧(yang)化(hua)測(ce)試：
當(dang)晶(jing)圓(yuan)加熱(re)至(zhi)300℃,400℃,500℃甚至(zhi)更高溫(wen)度(du)時(shi)，氧化(hua)現(xian)象(xiang)會(hui)越來(lai)越明(ming)顯，並且溫(wen)度(du)越高(gao)氧(yang)化越嚴重。過(guo)度(du)氧(yang)化會(hui)導致晶(jing)圓電(dian)性誤(wu)差(cha)，物理和(he)機械(xie)形(xing)變(bian)。避(bi)免這些(xie)需(xu)要把(ba)真空腔內(nei)的(de)氧(yang)氣在測(ce)試前(qian)用(yong)泵(beng)抽(chou)走，並且保持整(zheng)個(ge)測(ce)試過(guo)程泵的運(yun)轉(zhuan)。
晶(jing)圓(yuan)測(ce)試過(guo)程中溫(wen)度(du)在低(di)溫(wen)和(he)高(gao)溫(wen)中變換(huan)，因為熱(re)脹冷(leng)縮現(xian)象(xiang)，定位(wei)好(hao)的探(tan)針(zhen)與(yu)器件電(dian)極(ji)間(jian)會(hui)有相對(dui)位(wei)移(yi)，這時需要針(zhen)座(zuo)的重新(xin)定位(wei)，針(zhen)座(zuo)位(wei)於腔體(ti)外(wai)部(bu)。我(wo)們也(ye)可以選擇(ze)使用操(cao)作桿(gan)控(kong)制(zhi)的自動(dong)化針(zhen)座(zuo)來調整(zheng)探(tan)針(zhen)的(de)位(wei)置(zhi)。
華(hua)測(ce)半(ban)導體封裝(zhuang)材料(liao)高(gao)低(di)溫(wen)真空探(tan)針(zhen)臺(tai)技(ji)術參(can)數(shu)：
腔體(ti)規(gui)格(ge) | |
樣(yang)品(pin)臺(tai)尺寸 | 2英(ying)寸/4英寸/6英寸 |
樣(yang)品(pin)固(gu)定 | 彈簧壓(ya)片 |
觀(guan)察窗(chuang)口(kou) | 2英(ying)寸/4英寸/6英寸 |
真空度(du) | 10-6torr |
探(tan)針(zhen)臂(bi)接(jie)口 | 4~6個(ge)探(tan)針(zhen)臂(bi)接(jie)口 |
其(qi)他接(jie)口 | 電(dian)信接(jie)口、真空接(jie)口、光(guang)纖接(jie)口、冷(leng)源接(jie)口 |
制(zhi)冷(leng)方(fang)式(shi) | 液氮(dan)/液氦/制(zhi)冷(leng)機 |
溫(wen)度(du)範圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
溫(wen)控(kong)精(jing)度(du) | 0.1K/0.01K/0.001K |
穩(wen)定性(xing) | ±1K/±0.1K/±0.01K外(wai)形(xing) |
外(wai)形(xing) | 880mm長(chang)*880mm寬*600mm高(gao)/980mm長(chang)*980mm寬*600mm高(gao) |
重量(liang) | 約(yue)20KG/30KG |
光(guang)學(xue)系(xi)統(tong) | |
顯微(wei)鏡(jing)類(lei)型(xing) | 單筒顯微(wei)鏡(jing)/體(ti)式(shi)顯微(wei)鏡(jing)/金(jin)相顯微(wei)鏡(jing) |
放(fang)大(da)倍(bei)率 | 16X-200X/20X-4000X |
移(yi)動(dong)行程 | 水(shui)平360度(du)旋轉，Z軸(zhou)行程(cheng)50.8mm |
光(guang)源 | 外(wai)置(zhi)LED環(huan)形(xing)光(guang)源/同(tong)軸(zhou)光源 |
CCD | 200萬像(xiang)素(su)/500萬像(xiang)素(su)/1200萬像(xiang)素(su) |
探(tan)針(zhen)臂(bi) | |
X-Y-Z移(yi)動(dong)行程 | 50mm*50mm*50mm |
結(jie)構(gou) | 外(wai)置(zhi)探(tan)針(zhen)臂(bi)，真空波(bo)紋(wen)管(guan)結構 |
移(yi)動(dong)精(jing)度(du) | 10微(wei)米(mi)/1微(wei)米 |
線纜 | 同(tong)軸(zhou)線/三軸(zhou)線/射頻線 |
漏(lou)電(dian)精(jing)度(du) | 10pA/100fA/10fA |
固(gu)定探(tan)針(zhen) | 彈簧固(gu)定/管(guan)狀(zhuang)固(gu)定 |
接(jie)頭類(lei)型 | BNC/三(san)軸(zhou)/香蕉(jiao)頭(tou)/鱷魚(yu)夾(jia)/接(jie)線端子 |
頻率(lv)支持 | DC-67GHZ |
針(zhen)尖(jian)直徑 | 0.5微(wei)米(mi)/1微(wei)米/2微米/5微(wei)米/10微米/20微米 |
其(qi)他組(zu)件 | |
真空組件 | 分(fen)子泵組(zu)/機械(xie)泵/離(li)子泵 |
冷(leng)源組件(jian) | 50L/100L液氮(dan)罐/液氦罐(guan)/制(zhi)冷(leng)機 |
可選附件(jian)：
超高(gao)溫(wen)配(pei)件；
顯示(shi)器；
轉接(jie)頭；
射頻測(ce)試配(pei)件；
屏(ping)蔽箱；
光(guang)學(xue)平臺(tai)；
鍍(du)金(jin)卡盤；
光(guang)電(dian)測試配(pei)件；
高(gao)壓(ya)測(ce)試配(pei)件；
分(fen)子泵組(zu)；
激光(guang)系統(tong)；
氣(qi)敏(min)測(ce)試配(pei)件；
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