真空晶圓(yuan)退(tui)火爐

儀(yi)器(qi)介(jie)紹：

 華(hua)測(ce)儀(yi)器(qi)通過(guo)多年(nian)研究開發了(le)壹種可(ke)實(shi)現，高(gao)反(fan)射率(lv)的(de)拋物面與(yu)高(gao)質量(liang)的(de)加(jia)熱(re)源(yuan)相配(pei)置(zhi)儀(yi)器(qi)，在(zai)高(gao)速(su)加(jia)熱(re)高(gao)速(su)冷(leng)卻時(shi)，具(ju)有(you)良(liang)好的溫(wen)度分(fen)布(bu)。可(ke)實(shi)現寬域(yu)均熱(re)區(qu)，高(gao)速(su)加(jia)熱(re)、高(gao)速(su)冷(leng)卻，用(yong)石(shi)英管保護加(jia)熱(re)式(shi)樣，無氣(qi)氛(fen)汙(wu)染。可(ke)在高(gao)真(zhen)空， 高(gao)出純(chun)度氣體中加(jia)熱(re)。設(she)備(bei)可(ke)組成均(jun)熱(re)高(gao)速(su)加(jia)熱(re)爐(lu)，溫(wen)度斜(xie)率(lv)爐(lu)，階段加(jia)熱(re)爐(lu)，是(shi)目(mu)前理(li)想的壹(yi)種高(gao)真(zhen)空退火爐(lu)。

 它(ta)提高(gao)了(le)加(jia)熱(re)試(shi)驗能(neng)力(li)。同(tong)電阻(zu)爐(lu)和其(qi)他爐相(xiang)比(bi)，紅外(wai)線(xian)反射退(tui)火(huo)爐(lu)節省(sheng)了(le)升(sheng)溫(wen)時間(jian)和保(bao)持(chi)時(shi)間及自(zi)然(ran)冷(leng)卻到(dao)室(shi)溫(wen)所需(xu)時間(jian)，再(zai)試(shi)驗中(zhong)也(ye)可(ke)改寫(xie)設(she)定溫(wen)度值。從(cong)各方(fang)面講(jiang)，都能(neng)節省(sheng)時(shi)間(jian)並提高(gao)實(shi)驗(yan)速(su)度(du)。同(tong)高(gao)頻(pin)爐相比(bi)，不(bu)需(xu)特(te)殊(shu)的(de)安(an)裝(zhuang)條(tiao)件(jian)及對加(jia)熱(re)試(shi)樣的要求(qiu)。同(tong)電阻(zu)爐(lu)壹(yi)樣安裝(zhuang)簡(jian)單(dan)，有(you)冷(leng)卻系(xi)，an全可(ke)靠(kao)。以提高(gao)試(shi)驗人(ren)員的工(gong)作效(xiao)率(lv)，實(shi)現全(quan)溫(wen)度控制操作！

儀(yi)器(qi)原理(li)：

 原理(li)為(wei)加(jia)熱(re)絲(si)或桂碳(tan)棒對爐體加(jia)熱(re)，加(jia)熱(re)與(yu)降(jiang)溫(wen)速度(du)慢，效(xiao)率(lv)低(di)下(xia)，也(ye)無法(fa)實(shi)現溫(wen)度的(de)測(ce)量(liang)，加(jia)熱(re)區(qu)域也(ye)存在(zai)不(bu)均勻的現象。

 高(gao)真(zhen)空退火爐(lu)的(de)反(fan)射鏡(jing)是(shi)具(ju)有(you)曲率(lv)，采(cai)用(yong)5軸(zhou)加(jia)工系(xi)統加(jia)工，以提高(gao)反(fan)射率(lv)。反(fan)射鏡(jing)有(you)兩種(zhong)類型(xing)，壹(yi)種是(shi)橢(tuo)圓(yuan)形(xing)的(de)，另壹種是(shi)拋(pao)物線(xian)型的(de)，它們(men)適(shi)合(he)各種(zhong)材(cai)料(liao)的在(zai)溫(wen)度制控的(de)條(tiao)件(jian)下的測(ce)試(shi)。

設(she)備(bei)優勢(shi)：

高(gao)速(su)加(jia)熱(re)與(yu)冷(leng)卻方(fang)式

高(gao)能(neng)量的紅外(wai)燈和鍍(du)金(jin)反(fan)射方(fang)式允(yun)許高(gao)速(su)加(jia)熱(re)到(dao)高(gao)溫(wen)。同(tong)時爐(lu)體可(ke)配(pei)置(zhi)水冷(leng)系(xi)統，增(zeng)設(she)氣體冷(leng)卻裝(zhuang)置(zhi)，可(ke)實(shi)現快(kuai)速(su)冷(leng)卻。

溫(wen)度控制

過(guo)紅外(wai)鍍(du)金(jin)聚焦爐和溫(wen)度控制器的組合(he)使用(yong)，可(ke)以精確控制樣品(pin)的(de)溫(wen)度(遠(yuan)比(bi)普(pu)通加(jia)溫(wen)方(fang)式）此(ci)外(wai)，冷(leng)卻速(su)度(du)和保(bao)持(chi)在(zai)任何溫(wen)度下(xia)可(ke)提供。

不(bu)同(tong)環(huan)境下(xia)的加(jia)熱(re)與(yu)冷(leng)卻

加(jia)熱(re)/冷(leng)卻可(ke)用(yong)真(zhen)空、氣氛環(huan)境、低(di)溫(wen)（高(gao)純(chun)度惰性(xing)氣(qi)體靜態或流動），操(cao)作(zuo)簡(jian)單(dan)，使用(yong)石(shi)英玻璃(li)制成。紅外(wai)線(xian)可(ke)傳送到(dao)加(jia)熱(re)/冷(leng)卻室(shi)。

設(she)備(bei)結構：

1、反(fan)射爐(lu)溫(wen)度控制裝置：

高(gao)速(su)升溫(wen)時，配(pei)套(tao)的(de)快(kuai)速(su)反應(ying)的(de)控制裝置，本(ben)控制裝置采(cai)用(yong)可(ke)編程溫(wen)度控制器。高(gao)設(she)計，響(xiang)應(ying)速(su)度(du)快(kuai)。

2、可(ke)選配(pei)置(zhi)：

（1）幹(gan)栗(li)：抽速(su)彡120L/min,極(ji)限(xian)真空度彡4pa,噪(zao)音(yin)小(xiao)於(yu)52db;

（2）全(quan)量(liang)程真(zhen)空規：刀口(kou)法(fa)蘭接口(kou)，真(zhen)空測(ce)量(liang)範(fan)圍5X10^-7Pa到(dao)1atm;

（3）為(wei)了(le)高(gao)速(su)加(jia)熱(re)、設(she)備(bei)采(cai)用(yong)PID溫(wen)度控制，同(tong)時采(cai)用(yong)移相(xiang)觸(chu)發技(ji)術保證(zheng)試(shi)驗溫(wen)度；

（4）根(gen)據(ju)設(she)備(bei)上的溫(wen)度控制器輸入參(can)數，您也(ye)可(ke)以簡(jian)單(dan)輸入(ru)溫(wen)度程序(xu)設(she)定和外(wai)部(bu)信號(hao)。另外(wai)還 可(ke)以在電(dian)腦(nao)上顯示熱(re)中(zhong)的溫(wen)度數據；

（5）自(zi)適(shi)應(ying)熱(re)電(dian)偶(ou)包(bao)括(kuo)JIS、K、J、T、E、N、R、S、B、以及L、U、W型(xing)；

（6）大(da)可(ke)設(she)定32個(ge)程序(xu)、256個(ge)步驟(zhou)的(de)程序(xu)；

（7）30A、60A、120A內(nei)置(zhi)了 SCR電(dian)路，所以範(fan)圍很(hen)廣。

3、其(qi)他配(pei)置(zhi)：

儀(yi)器(qi)試(shi)樣試(shi)驗：

多(duo)應(ying)用(yong)：

樣品(pin)腔內(nei)徑(jing)≥30mm；      退火爐(lu)外(wai)徑(jing)：≤100mm

1、電(dian)子(zi)材(cai)料(liao)

半(ban)導(dao)體用(yong)矽(gui)化(hua)合(he)化(hua)的PRA (加(jia)熱(re)後(hou)急速冷(leng)卻）

熱(re)源(yuan)薄(bo)膜形(xing)成(cheng)

激(ji)活(huo)離(li)子(zi)註入後(hou)

矽(gui)化(hua)物的(de)形成(cheng)

2、陶(tao)瓷(ci)與(yu)無機(ji)材(cai)料(liao)

陶(tao)瓷(ci)基板(ban)退(tui)火爐

玻璃(li)基板(ban)退(tui)火爐。

3、鋼(gang)鐵和金(jin)屬(shu)材(cai)料(liao)

薄(bo)鋼板(ban)加(jia)熱(re)過(guo)程的(de)數值模擬

爐(lu)焊(han)接模擬

高(gao)真(zhen)空熱(re)處理(li)（1000°c以下）

大(da)氣氣(qi)體熔化(hua)過(guo)程

壓(ya)力(li)下(xia)耐(nai)火(huo)鋼(gang)和合(he)金的(de)熱(re)循(xun)環(huan)試(shi)驗爐(lu)

4、復合(he)材(cai)料(liao)

耐(nai)熱(re)性(xing)評(ping)價(jia)爐(lu)

無機(ji)復合(he)材(cai)料(liao)熱(re)循(xun)環(huan)試(shi)驗爐(lu)

5、其(qi)他

高(gao)溫(wen)拉伸(shen)壓縮試(shi)驗爐(lu)

分(fen)段分(fen)區(qu)控制爐

溫(wen)度梯度爐

爐(lu)氣(qi)分(fen)析(xi)

超(chao)導(dao)陶瓷(ci)退火(huo)爐(lu)

高(gao)真(zhen)空退火爐(lu)/*材(cai)料(liao)測(ce)試(shi)儀(yi)

高(gao)真(zhen)空退火爐(lu)/*材(cai)料(liao)測(ce)試(shi)儀(yi)