華測高溫(wen)拉(la)伸(shen)壓縮(suo)試驗(yan)爐

設(she)備(bei)原理：

1. 輻(fu)射加(jia)熱

紅外(wai)鍍(du)金(jin)聚焦(jiao)爐是利用(yong)高能量(liang)密(mi)度的紅外(wai)光(guang)源作(zuo)為(wei)加(jia)熱源的輻射(she)加(jia)熱爐。爐體(ti)由(you)鋁合(he)金(jin)制成(cheng)，紅外(wai)線(xian)反(fan)射(she)面(mian)拋(pao)光(guang)，鍍(du)金(jin)，反高光(guang)。同時(shi)配(pei)置(zhi)水(shui)冷(leng)裝(zhuang)置(zhi)。

2. 紅外(wai)線(xian)燈(deng)

紅外(wai)鍍(du)金(jin)聚焦(jiao)爐是利用(yong)高能量(liang)密(mi)度的紅外(wai)光(guang)源作(zuo)為(wei)加(jia)熱源的輻射(she)加(jia)熱爐。爐體(ti)由(you)鋁合(he)金(jin)制成(cheng)，紅外(wai)線(xian)反(fan)射(she)面(mian)拋(pao)光(guang)，鍍(du)金(jin)，反高光(guang)。同時(shi)配(pei)置(zhi)水(shui)冷(leng)裝(zhuang)置(zhi)。

3. 反(fan)射光(guang)

反(fan)射鏡(jing)是用(yong)曲(qu)率(lv)加(jia)工(gong)以(yi)提高反(fan)射率(lv)。反(fan)射(she)鏡(jing)有兩種(zhong)類(lei)型，壹種(zhong)是(shi)橢(tuo)圓(yuan)形的，另(ling)壹種(zhong)是(shi)拋(pao)物線(xian)型的，該模型rhl-e和(he)vht-e系列(lie)有壹個橢圓(yuan)形反(fan)射(she)器和(he)適(shi)合(he)的棒狀(zhuang)樣品(pin)加熱(re)，和(he)其(qi)他模型：rhl-p,RHL PS和(he)RHL PSS系列(lie)具有拋(pao)物線(xian)型反(fan)射器(qi)和(he)適(shi)用(yong)於片(pian)狀樣品(pin)。

設(she)備(bei)特(te)點

1. 高速(su)加熱(re)與冷(leng)卻方(fang)式(shi)

高能量(liang)的紅外(wai)燈和(he)鍍(du)金(jin)反射鏡(jing)允許(xu)高速(su)加熱(re)到(dao)高溫(wen)。同(tong)時(shi)體(ti)可配(pei)置(zhi)水(shui)冷(leng)，增(zeng)設(she)氣(qi)體(ti)冷(leng)卻裝(zhuang)置(zhi)，可實現快速(su)冷(leng)卻。

2. 溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)

通(tong)過紅外(wai)鍍(du)金(jin)聚焦(jiao)和(he)溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)器(qi)的組(zu)合(he)使(shi)用(yong)，可(ke)以(yi)控制(zhi)樣品(pin)的溫(wen)度(du)。此(ci)外(wai)，冷(leng)卻速(su)度和(he)保(bao)持(chi)在任(ren)何(he)溫(wen)度(du)下(xia)可提(ti)供。

3. 清潔加熱

反(fan)射鏡(jing)是用(yong)曲(qu)率(lv)加(jia)工(gong)以(yi)提高反(fan)射率(lv)。反(fan)射(she)鏡(jing)有兩種(zhong)類(lei)型，壹種(zhong)是(shi)橢(tuo)圓(yuan)形的，另(ling)壹種(zhong)是(shi)拋(pao)物線(xian)型的，該模型rhl-e和(he)vht-e系列(lie)有壹個橢圓(yuan)形反(fan)射(she)器和(he)適(shi)合(he)的棒狀(zhuang)樣品(pin)加熱(re)，和(he)其(qi)他模型：rhl-p,RHL PS和(he)RHL PSS

4. 不(bu)同環(huan)境(jing)下(xia)的加熱(re)與冷(leng)卻

北(bei)京華(hua)測 高真(zhen)空退(tui)火爐加熱/冷(leng)卻可(ke)用(yong)真(zhen)空(kong)、氣氛(fen)環(huan)境(jing)，低(di)溫(wen)（高純(chun)度惰(duo)性氣體(ti)靜態或(huo)流(liu)動(dong)），操(cao)作簡單(dan)，使(shi)用(yong)石(shi)英玻(bo)璃(li)制成(cheng)。紅外(wai)線(xian)可(ke)傳送到加(jia)熱(re)/冷(leng)卻室。

設(she)備(bei)結構：

結(jie)構:

溫(wen)控(kong)系(xi)統(tong)：設(she)備(bei)采用(yong)PID溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)，同(tong)時(shi)采用(yong)移(yi)相(xiang)觸(chu)發技(ji)術(shu)保證(zheng)試驗(yan)溫(wen)度(du)，確(que)保(bao)±1℃的均勻性，多區獨(du)立控(kong)溫(wen)補(bu)償邊緣熱損(sun)失；

• 根(gen)據設(she)備(bei)上的溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)器(qi)輸(shu)入參(can)數(shu)，您(nin)也可以(yi)簡單(dan)輸(shu)入溫(wen)度(du)程(cheng)序(xu)設(she)定(ding)和外部信(xin)號(hao)。另(ling)外還(hai)可(ke)以(yi)在電(dian)腦上顯示(shi)熱中的溫(wen)度(du)數(shu)據；

• 自(zi)適(shi)應(ying)熱(re)電偶包括JS、K、J、T、E、N、R、S、B、以(yi)及L、U、W型；

• 最大可(ke)設(she)定(ding)32個程(cheng)序(xu)、256個步驟(zhou)的程(cheng)序(xu)；
• 30A、60A、120A內置(zhi)了(le)SCR電路(lu)，所(suo)以範(fan)圍很(hen)廣(guang)。
• 腔(qiang)體(ti)設(she)計(ji)： 石(shi)英或(huo)碳(tan)化矽材(cai)質(zhi)，耐(nai)高溫(wen)且低(di)汙(wu)染，晶(jing)圓通(tong)過自(zi)動(dong)傳輸(shu)系(xi)統(tong)進(jin)出(chu)，減少(shao)人(ren)為幹(gan)擾(rao)；
• 進口幹(gan)泵： 抽(chou)速(su)>120L/min，極限真空度(du)≤4pa，噪(zao)音(yin)小(xiao)於 52db；

• 進(jin)口(kou)全量(liang)程(cheng)真(zhen)空(kong)規(gui)：刀(dao)口法蘭接(jie)口(kou)，真空(kong)測量(liang)範(fan)圍 5×10^-7 Pa 到 1atm。

技(ji)術(shu)規格:

產品(pin)型號(hao)：Huace-800G/1200G/1450G
最大產品(pin)尺(chi)寸(cun)：6 寸(cun)晶(jing)圓或(huo)者(zhe)最大支(zhi)持(chi)150 x 150mm產品(pin)
溫(wen)度(du)範(fan)圍：室溫(wen) ~ 1250 °C
最高升溫(wen)速(su)度：<100 ℃ /s 可(ke)編(bian)程(cheng)（此(ci)溫(wen)度(du)為(wei)不(bu)含載盤(pan)的升溫(wen)速(su)度）< 25 ℃ /s（SiC 載(zai)盤(pan)）
溫(wen)度(du)均(jun)勻度：±5 °C ≤ 500 ℃ ±1 % > 500 ℃
溫(wen)度(du)控(kong)制(zhi)重(zhong)復性：±1 °C
溫(wen)控(kong)方(fang)式(shi)：快(kuai)速(su) PID 溫(wen)控(kong)