半導(dao)體封裝材料(liao)真(zhen)空探(tan)針測試

半導(dao)體封裝材料(liao)真(zhen)空探(tan)針測試

半導(dao)體封裝材料(liao)真(zhen)空探(tan)針測試產品參(can)數(shu)：

腔體

樣(yang)品臺(tai)尺(chi)寸：2英(ying)寸

樣(yang)品固定(ding)：樣(yang)品固定(ding)

觀察窗(chuang)口(kou)：2英(ying)寸

真空(kong)度：10-6 torr

探(tan)針臂接(jie)口(kou)：最多(duo)6個探(tan)針臂接(jie)口(kou)

其他(ta)接(jie)口(kou)：電(dian)信(xin)接(jie)口、真空接(jie)口(kou)、光纖接口、冷源接口

制冷方式(shi)：液(ye)氮(dan) / 液氦(hai)

控制方式(shi)：開(kai)循環(huan)手動

溫(wen)度範圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫(wen)度分(fen)辨率(lv)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wen)定(ding)性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡(jing)

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：50mm×25mm×13mm

結構(gou)：外(wai)置(zhi)探(tan)針臂，真(zhen)空(kong)波(bo)紋(wen)管(guan)結構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

光源(yuan)：外(wai)置(zhi)LED環(huan)形光源(yuan) / 同(tong)軸光源(yuan)

CCD：200萬像(xiang)素(su) / 500萬像(xiang)素(su) / 1200萬像(xiang)素(su)

探(tan)針座(zuo)

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程

結構(gou)：外(wai)置(zhi)探(tan)針臂，真(zhen)空(kong)波(bo)紋(wen)管(guan)結構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

探(tan)針夾(jia)具(ju)

線(xian)纜(lan)：同(tong)軸線(xian) / 三軸線(xian) / 射頻(pin)線(xian)

漏(lou)電(dian)精(jing)度：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針：彈(dan)簧固定(ding) / 螺(luo)絲(si)固定(ding)

接頭類型(xing)：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷(e)魚夾(jia) / 接線(xian)端(duan)子(zi)/ 射頻(pin)接(jie)口(kou)

探(tan)針

射頻(pin)支(zhi)持(chi)：DC-67GHZ

針尖(jian)直(zhi)徑(jing)：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢(wu)鋼(gang) / 鈹銅

真空(kong)組(zu)件(jian)：分(fen)子泵(beng)組 / 機械泵(beng)

冷源組件(jian)：50L / 100L 液(ye)氮(dan)罐 / 液氦(hai)罐(guan) / 制冷機

外(wai)形重量：730mm×750mm×1265mm（長(chang)寬高(gao)）      約100kg

防(fang)震(zhen)桌(zhuo)參(can)數(shu)：

氣(qi)浮隔(ge)振(zhen)防(fang)震(zhen)桌(zhuo)

隔振(zhen)方式(shi):隔振(zhen)方式(shi)

材質:不銹鋼(gang) / 碳鋼(gang)

平面(mian)度:0.05mm / m2

粗(cu)糙(cao)度:＜0.8μm

孔距(ju):25×25mm

孔徑(jing):M6

平臺(tai)尺寸（長(chang)寬):可定(ding)制

平臺(tai)厚(hou)度：50 / 100 / 200mm

固有(you)頻(pin)率(lv):.5Hz - 2Hz

支(zhi)撐腿(tui):氣(qi)浮支(zhi)撐腿(tui)

支(zhi)撐腿(tui)數(shu)量:4個 / 6個(ge)

支(zhi)撐腿(tui)高(gao)度:800mm±10mm

其他(ta):內(nei)芯(xin)采用蜂(feng)窩(wo)支(zhi)撐、表(biao)面(mian)密(mi)迪紋(wen)處(chu)理(li)、支(zhi)撐腳(jiao)可選腳(jiao)輪、特殊尺寸(cun)可定(ding)制

產品參(can)數(shu)：

腔體

樣(yang)品臺(tai)尺(chi)寸：4英(ying)寸

樣(yang)品固定(ding)：樣(yang)品固定(ding)

觀察窗(chuang)口(kou)：4英(ying)寸

真空(kong)度：10-6 torr

探(tan)針臂接(jie)口(kou)：最多(duo)6個(ge)探(tan)針臂接(jie)口(kou)

其他(ta)接(jie)口(kou)：電(dian)信(xin)接(jie)口、真空接(jie)口(kou)、光纖接口、冷源接口

制冷方式(shi)：制冷機

控制方式(shi)：閉(bi)循環(huan)自(zi)動控制

溫(wen)度範圍：4.5K ~ 450K

溫(wen)度分(fen)辨率(lv)：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wen)定(ding)性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡(jing)

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：50mm×25mm×13mm

結構(gou)：外(wai)置(zhi)探(tan)針臂，真(zhen)空(kong)波(bo)紋(wen)管(guan)結構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

光源(yuan)：外(wai)置(zhi)LED環(huan)形光源(yuan) / 同(tong)軸光源(yuan)

CCD：200萬像(xiang)素(su) / 500萬像(xiang)素(su) / 1200萬像(xiang)素(su)

探(tan)針座(zuo)

X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程：X-Y-Z 移動(dong)行(xing)程

結構(gou)：外(wai)置(zhi)探(tan)針臂，真(zhen)空(kong)波(bo)紋(wen)管(guan)結構(gou)

移動(dong)精(jing)度：10μm / 1μm

探(tan)針夾(jia)具(ju)

線(xian)纜(lan)：同(tong)軸線(xian) / 三(san)軸線(xian) / 射(she)頻(pin)線(xian)

漏(lou)電(dian)精(jing)度：10pA / 100fA / 10fA

固定(ding)探(tan)針：彈(dan)簧固定(ding) / 螺(luo)絲(si)固定(ding)

接頭類型(xing)：BNC / 三(san)軸 / 香蕉頭 / 鱷(e)魚夾(jia) / 接(jie)線(xian)端(duan)子(zi)/ 射(she)頻接口

探(tan)針

射頻(pin)支(zhi)持(chi)：DC-67GHZ

針尖(jian)直(zhi)徑(jing)：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢(wu)鋼(gang) / 鈹銅

真空(kong)組(zu)件(jian)：分(fen)子泵(beng)組 / 機械泵(beng)

冷源組件(jian)：50L / 100L 液(ye)氮(dan)罐 / 液氦(hai)罐(guan) / 制冷機

外(wai)形重量：730mm×750mm×1265mm（長(chang)寬高(gao)）      約100kg

防(fang)震(zhen)桌(zhuo)參(can)數(shu)：

阻尼隔(ge)振防(fang)震(zhen)桌(zhuo)

隔振(zhen)方式(shi):高(gao)級復(fu)合材料(liao)隔(ge)振

材質:不銹鋼(gang) / 碳鋼(gang)

平面(mian)度:0.05mm / m2

粗(cu)糙(cao)度:＜0.8μm

孔距(ju):25×25mm

孔徑(jing):M6

平臺(tai)尺寸（長(chang)寬):可定(ding)制

平臺(tai)厚(hou)度：50 / 100 / 200mm

固有(you)頻(pin)率(lv):6Hz - 8Hz

支(zhi)撐腿(tui):阻尼支(zhi)撐腿(tui)

支(zhi)撐腿(tui)數(shu)量:4個 / 6個(ge)

支(zhi)撐腿(tui)高(gao)度:800mm±10mm

其他(ta):內(nei)芯(xin)采用蜂(feng)窩(wo)支(zhi)撐、表(biao)面(mian)密(mi)迪紋(wen)處(chu)理(li)、支(zhi)撐腳(jiao)可選腳(jiao)輪、特殊尺寸(cun)可定(ding)制

真空(kong)探(tan)針臺(tai) 外(wai)置(zhi)探(tan)針臂