半(ban)導體參數測(ce)試(shi)儀與MM探針(zhen)臺(tai)

功(gong)能：

可提供(gong)直(zhi)流電壓/電流輸出，直(zhi)流電壓/電流測(ce)量(liang)和(he)交(jiao)流信號輸出以及(ji)阻(zu)抗測(ce)量(liang)

主(zhu)要(yao)技(ji)術(shu)指標(biao)：

探(tan)針臺(tai)：

1.探針臺主(zhu)機(ji)：卡(ka)盤(pan)XY運(yun)動(dong)範圍(wei)200mm*200mm,Z軸運(yun)動(dong)範圍(wei)25mm

2.絲桿軸承確保移動(dong)，分辨(bian)率3.5um

3.針座(zuo)：精(jing)度0.7um

4.加(jia)熱臺(tai): 溫(wen)度(du)範圍(wei)室溫(wen)-400℃

半(ban)導體參數測(ce)試(shi)儀與MM探針(zhen)臺(tai)

半(ban)導體參數測(ce)試(shi)儀

1.直(zhi)流I-V測(ce)試(shi)：

具有(you)4路(lu)SMU，其中(zhong)2路(lu)中(zhong)等功(gong)率SMU，2路(lu)高(gao)分辨(bian)率SMU, 可同時測(ce)量(liang)電壓分辨(bian)率0.5μV、電流分辨(bian)率0.1fA

2.C-V測(ce)試(shi)：頻(pin)率1KHz-5MHz；偏置(zhi)電壓：±25V；測(ce)量(liang)精(jing)度±0.2 %

3.可實(shi)現C-V和(he)I-V測(ce)量(liang)間自動(dong)切換(huan)，不會(hui)影響測(ce)量(liang)精(jing)度

4.脈(mai)沖IV：

提供(gong)兩路(lu)快速(su)IV/脈(mai)沖輸(shu)出，具有(you)任意波(bo)形(xing)產生(sheng)功(gong)能

脈(mai)沖寬(kuan)度(du)：50ns；脈(mai)沖電平範(fan)圍(wei)：-5V~+5V，+/-10V~0V (50 Ω負載)；電壓測(ce)量(liang)精(jing)度：±0.1%讀(du)值, ±0.1% 量(liang)程(cheng)；電流測(ce)量(liang)精(jing)度：±0.1% 讀(du)值, ± 0.2% 量(liang)程(cheng)

主(zhu)要(yao)用(yong)途(tu)

支持二(er)極(ji)管(guan)、三(san)極(ji)管(guan)、MOS管(guan)等(deng)半(ban)導體器(qi)件(jian)以及(ji)材(cai)料(liao)的直(zhi)流電流-電壓(I-V)測(ce)量(liang)，準(zhun)靜態和(he)中(zhong)頻(pin)電容-電壓(C-V)測(ce)量(liang)，時域測(ce)量(liang)等。

半(ban)導體參數測(ce)試(shi)儀與MM探針(zhen)臺(tai)/系統集成(cheng)

半(ban)導體參數測(ce)試(shi)儀與MM探針(zhen)臺(tai)/系統集成(cheng)