什(shen)麽是(shi)四探針法？

     四探針法通(tong)常(chang)用來(lai)測(ce)量(liang)半導(dao)體(ti)的電(dian)阻(zu)率(lv)。四探針法測(ce)量(liang)電(dian)阻(zu)率(lv)有個(ge)非常(chang)大的(de)優點(dian)，它不需(xu)要(yao)較準；有時(shi)用其(qi)它方法(fa)測(ce)量(liang)電(dian)阻(zu)率(lv)時(shi)還用四探針法較準。

     與四探針法相(xiang)比(bi)，傳(chuan)統的(de)二探(tan)針法方便(bian)些，因為它只(zhi)需(xu)要(yao)操(cao)作兩個(ge)探針，但是(shi)處(chu)理二探(tan)針法得(de)到(dao)的(de)數據卻很(hen)復(fu)雜。如圖(tu)壹，電(dian)阻(zu)兩端(duan)有兩個(ge)探針接(jie)觸(chu)，每(mei)個(ge)接(jie)觸(chu)點(dian)既(ji)測(ce)量(liang)電(dian)阻(zu)兩端(duan)的電(dian)流值，也測(ce)量(liang)了(le)電(dian)阻(zu)兩端(duan)的電(dian)壓(ya)值(zhi)。

我(wo)們希(xi)望(wang)確(que)定所測(ce)量(liang)的電(dian)阻(zu)器的(de)電(dian)阻(zu)值(zhi)，總(zong)電(dian)阻(zu)值(zhi)：

RT=V/I=2RW+2RC+RDUT；其(qi)中RW是(shi)導(dao)線電(dian)阻(zu)，RC是(shi)接(jie)觸(chu)電(dian)阻(zu)，RDUT所要(yao)測(ce)量(liang)的電(dian)阻(zu)器的(de)電(dian)阻(zu)，顯(xian)然(ran)用這種方法(fa)不能(neng)確定(ding)RDUT的值(zhi)。矯(jiao)正(zheng)的(de)辦法(fa)就是(shi)使用(yong)四點接(jie)觸(chu)法(fa)，即(ji)四探針法。如(ru)圖(tu)二，電(dian)流的路(lu)徑與圖(tu)壹中相(xiang)同，但(dan)是(shi)測(ce)量(liang)電(dian)壓(ya)使(shi)用(yong)的是(shi)另(ling)外兩個(ge)接(jie)觸(chu)點(dian)。盡(jin)管(guan)電(dian)壓(ya)計測(ce)量(liang)的電(dian)壓(ya)也包含了(le)導(dao)線電(dian)壓(ya)和(he)接(jie)觸(chu)電(dian)壓(ya)，但(dan)由(you)於(yu)電(dian)壓(ya)計的內(nei)阻很(hen)大，通(tong)過(guo)電(dian)壓(ya)計的電(dian)流非常(chang)小，因(yin)此(ci)，導(dao)線電(dian)壓(ya)與接(jie)觸(chu)電(dian)壓(ya)可(ke)以(yi)忽略不(bu)計，測(ce)量(liang)的電(dian)壓(ya)值(zhi)基本上等於(yu)電(dian)阻(zu)器兩端(duan)的電(dian)壓(ya)值(zhi)。

通(tong)過采(cai)用(yong)四探針法取(qu)代(dai)二探(tan)針法，盡(jin)管(guan)電(dian)流所走的路(lu)徑是(shi)壹樣(yang)的，但(dan)由於(yu)消(xiao)除掉(diao)了(le)寄(ji)生(sheng)壓(ya)降，使得測(ce)量(liang)變得(de)精que了(le)。四探針法在後來(lai)，已(yi)經(jing)變(bian)得(de)十分(fen)普及(ji)，命名(ming)為四探針法。

Huace-800高(gao)溫四探針測(ce)試儀(yi)器采(cai)用(yong)四探針雙電(dian)測(ce)量(liang)方法(fa)，適用於(yu)生產(chan)企業、高(gao)等院校(xiao)、科研部門，是(shi)檢(jian)驗(yan)和(he)分(fen)析(xi)導(dao)體(ti)材料(liao)和半導(dao)體(ti)材料(liao)在高溫、真空(kong)及氣(qi)氛(fen)條件(jian)下測(ce)量(liang)的壹(yi)種(zhong)重(zhong)要(yao)的(de)工具。本儀器配(pei)置(zhi)各類測(ce)量(liang)裝置(zhi)可(ke)以(yi)測(ce)試不(bu)同材料(liao)。液晶(jing)顯(xian)示，無需(xu)人工(gong)計算，並帶有溫度補(bu)償功能。采(cai)用(yong)AD芯(xin)片(pian)控制(zhi)，恒流輸出(chu)，結(jie)構(gou)合(he)理、質(zhi)量(liang)輕便(bian)，配(pei)備10英(ying)寸(cun)觸(chu)摸屏，軟(ruan)件可(ke)保存(cun)和打(da)印(yin)數據，自(zi)動生(sheng)成(cheng)報表；本儀器可(ke)顯示電(dian)阻(zu)、電(dian)阻(zu)率(lv)、方阻(zu)、溫度、單(dan)位換(huan)算、溫度系數、電(dian)流、電(dian)壓(ya)、探(tan)針形(xing)狀、探針間距(ju)、厚度、電(dian)導(dao)率(lv)，配置(zhi)不同的(de)測(ce)試治具可(ke)以(yi)滿足(zu)不(bu)同材料(liao)的測(ce)試要(yao)求。測(ce)試治具可(ke)以(yi)根據(ju)產品及測(ce)試項目(mu)要(yao)求選購(gou)。

雙(shuang)電(dian)測(ce)數字(zi)式四探針測(ce)試儀(yi)是(shi)運用(yong)直線或(huo)方形(xing)四探針雙位測(ce)量(liang)。該(gai)儀(yi)器設計符(fu)合(he)單(dan)晶矽(gui)物理測(ce)試方法(fa)標準並參考美國A.S.T.M標準。利(li)用(yong)電(dian)流探針、電(dian)壓(ya)探(tan)針的變(bian)換(huan)，進行兩次(ci)電(dian)測(ce)量(liang)，對數(shu)據(ju)進行雙電(dian)測(ce)分析(xi)，自(zi)動消(xiao)除樣品(pin)幾(ji)何尺(chi)寸、邊(bian)界(jie)效(xiao)應(ying)以(yi)及探(tan)針不等距(ju)和機械遊(you)移(yi)等因(yin)素對(dui)測(ce)量(liang)結(jie)果的影響，它與單(dan)電(dian)測(ce)直線或(huo)方形(xing)四探針相(xiang)比(bi)，大大提(ti)高(gao)精que度，也可(ke)應(ying)用於(yu)產品(pin)檢(jian)測(ce)以(yi)及新(xin)材料(liao)電(dian)學研究(jiu)等用(yong)途。