高溫(wen)四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試儀(yi)測(ce)試電(dian)阻率(lv)的原理(li)和(he)介(jie)紹(shao)

高溫四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試儀(yi)可以實現高(gao)溫、真(zhen)空(kong)及(ji)惰性(xing)氣氛(fen)條(tiao)件下(xia)測量矽、鍺單(dan)晶（棒(bang)料、晶片）電(dian)阻率(lv)和(he)外(wai)延(yan)層(ceng)、擴散層(ceng)和(he)離(li)子(zi)註入(ru)層(ceng)的方(fang)塊電(dian)阻以及(ji)測量導(dao)電(dian)玻璃(li)（ITO）和(he)其(qi)他(ta)導(dao)電(dian)薄膜(mo)的(de)方(fang)塊電(dian)阻。

那(na)麽高溫四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試儀(yi)的(de)測量原理(li)是什麽(me)呢？

測量電(dian)阻率(lv)的方(fang)法(fa)很多，如三探針(zhen)法(fa)、電(dian)容(rong) -電(dian)壓法(fa)、擴展(zhan)電(dian)阻法(fa)等，四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)則是壹種廣(guang)泛(fan)采(cai)用的(de)標(biao)準方(fang)法(fa)，高溫(wen)四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試儀(yi)采(cai)用經(jing)典(dian)直排四(si)探(tan)針(zhen)原理(li)，同時(shi)采用了(le)雙(shuang)電(dian)測組合(he)四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)。

直排四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)

經(jing)典(dian)的直排四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)測試電(dian)阻率(lv)，要求使(shi)用等間距(ju)的(de)探針，如(ru)果針間距(ju)離(li)不(bu)等或(huo)探(tan)針(zhen)有遊(you)移(yi)，就會造成實驗(yan)誤差。當(dang)被(bei)測片較(jiao)小(xiao)或(huo)在(zai)大(da)片邊(bian)緣附(fu)近測(ce)量時，要求計(ji)入(ru)電(dian)場畸(ji)變的(de)影(ying)響進(jin)行邊(bian)界修(xiu)正(zheng)。

采用雙(shuang)電(dian)測組合(he)四(si)探(tan)針(zhen)的(de)出現，為提高薄膜(mo)電(dian)阻和(he)體(ti)電(dian)阻率(lv)測量準確度(du)創(chuang)造了有利條(tiao)件。

目(mu)前(qian)雙(shuang)電(dian)測組合(he)（亦稱(cheng)雙(shuang)位組合(he)）四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)有三種模式(shi)：模式(shi)（1），模式(shi)（2），模式(shi)（3），高溫四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試儀(yi)采(cai)用模式(shi)（2），通過用計(ji)算機對三種模式(shi)的(de)理(li)論進(jin)行比(bi)較(jiao)研(yan)究的(de)結(jie)果表明(ming)：對無窮大(da)被(bei)測片三種模式(shi)都(dou)壹樣，可是測量小片或(huo)大(da)片邊(bian)緣位(wei)置時(shi)，模式(shi)（2）好(hao)，它(ta)能自動(dong)消除邊(bian)界影(ying)響，略(lve)優於模式(shi)（3），好(hao)於模式(shi)（1）。

那(na)麽高溫四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試儀(yi)采(cai)用雙(shuang)電(dian)測組合(he)四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)有哪(na)些(xie)優勢呢？

1、采用雙(shuang)電(dian)測組合(he)四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)進(jin)行測試，測(ce)試結(jie)果與(yu)探針(zhen)間距(ju)無(wu)關，能夠(gou)消除間距(ju)不(bu)等及(ji)針尖機械遊移變化(hua)的(de)影響，因此四(si)探(tan)針(zhen)測(ce)試臺(tai)允(yun)許(xu)使用不(bu)等距(ju)探(tan)針頭。

2、采(cai)用雙(shuang)電(dian)測組合(he)四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)具有(you)自動(dong)修正(zheng)邊(bian)界效(xiao)應(ying)的(de)功(gong)能(neng)，對小尺寸(cun)被(bei)測片或(huo)探(tan)針(zhen)在較(jiao)大(da)樣品邊(bian)緣附(fu)近時(shi)，不(bu)需要(yao)對樣品做幾何測(ce)量，也不(bu)必尋(xun)找(zhao)修(xiu)正因子(zi)。

3、采用雙(shuang)電(dian)測組合(he)四(si)探(tan)針(zhen)法(fa)，不(bu)移動(dong)四(si)探(tan)針(zhen)針(zhen)頭，同時(shi)使用三種模式(shi)測(ce)量，即可計算得(de)到測(ce)試部(bu)位(wei)的電(dian)阻均(jun)勻(yun)性(xing)。